智能半自動特氣VMB閥門箱
特氣VMB閥門箱(Valve Manifold Box)，是一種內嵌多支路，實現高純氣體或液體分流的閥門箱。
VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點，壓力可被單獨地調控，從而可同時滿足不同應用的需求。
它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。
除此以外，設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下，吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。
VMB通過采用安裝的壓力表、手動閥等裝置，具有成本低的優勢，能夠實現設備安全有效的運行，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。
適用氣體：
易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業：
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校實驗室等。
產品特性
主材全部采用 SUS316無縫不銹鋼管。
主體閥門管件全部來自 APtech,Parker, Potarex 等國際一線品牌。
標準配置
帶PLC控制系統，觸控屏人機界面
帶外吹掃、帶抽真空，自動緊急遠程切斷、事故報警，泄漏報警對接，通風出口等;
符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼;
尾氣排放功能;
防爆外柜，烤漆或不銹鋼外殼包覆;
每個箱配置：進出均須帶手動隔膜閥、氣動隔膜閥、壓力表，壓力傳感器、減壓閥，單向閥，過濾器、安全閥等
具備一個預留擴充點;
氣體分配柜的負壓應持續監控。
緊急切斷功能,風壓事故報警功能等
為保證安全，所有閥門管件須使用優質的國際知名品牌。
